旋片式真空泵主要是中小型真空泵。旋片式真空泵有兩種類型的單級旋片式真空泵和兩級真空泵。所謂的兩級旋片式真空泵是兩個串聯(lián)的單級泵結(jié)構(gòu)。通常，將其制成兩個階段以獲得更高的真空度。

微電子學(xué)需要越來越小的電子元件和電路，以及更高的集成要求。這與真空技術(shù)的應(yīng)用密不可分，特別是VLSI的微加工技術(shù)。幾何結(jié)構(gòu)，超薄層生長技術(shù)和粒子束注入技術(shù)的形成都需要高質(zhì)量，清潔的真空環(huán)境。依賴真空技術(shù)和設(shè)備。目前，今天的VLSI工藝需要真空條件（旋片式真空泵可以提供）。

因此，在微電子技術(shù)中，進口旋片式真空泵在這方面起著一定的作用。

微電子技術(shù)是一種基于各種半導(dǎo)體器件的高科技電子技術(shù)，以集成電路為核心。它具有體積小，重量輕，可靠性高，工作速度快的特點。微電子技術(shù)對信息時代產(chǎn)生巨大影響。

微電子技術(shù)是在傳統(tǒng)電子技術(shù)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的。它被稱為“微電子學(xué)”，顧名思義，因為它是一種小型的先進技術(shù)，其特點是“四微”：1它的信號處理是固體中的微觀電子。它是在運動中實現(xiàn)的; 2其工作范圍是實心甚至是晶格級微區(qū); 3信號交換只在很小的范圍內(nèi)進行; 4它的體積很大，可以放一個電子功能，甚至一個子系統(tǒng)集成在一個微芯片上。簡而言之，微電子技術(shù)是一種獨特而神奇的特殊技術(shù)，可在幾乎看不見的范圍內(nèi)工作。

微電子技術(shù)也對電子產(chǎn)品的消費市場產(chǎn)生了深遠的影響。低成本，可靠，小巧輕便的微電子技術(shù)層出不窮。電子技術(shù)產(chǎn)品和微處理器不再是世界上專業(yè)科學(xué)儀器的貴族，而是定居在各種流行產(chǎn)品中，并進入普通人的家中。例如，電子玩具，游戲機，學(xué)習(xí)機和其他家用電器。即使是傳統(tǒng)的汽車機械產(chǎn)品也已滲透到微電子技術(shù)中。使用微電子技術(shù)，汽車安全防盜系統(tǒng)，出租車計量裝置等的電子發(fā)動機監(jiān)控系統(tǒng)已被廣泛使用，有時甚至在現(xiàn)代汽車中使用。有幾十到幾十個微處理器。

本文主要介紹了旋片式真空泵在微電子工業(yè)中的成功應(yīng)用。旋片式真空泵廣泛應(yīng)用于冶金，機械，軍工，電子，化工，輕工，石油，醫(yī)藥生產(chǎn)和科研等部門。它已廣泛用于食品的真空包裝和塑料工業(yè)的真空成型。印刷業(yè)中的紙張傳輸，真空裝置和真空吸塵。